项目名称
年产2万吨电子级氢氟酸项目
产业类别
电子信息产业
总投资额
4亿元
项目简介
电子级氢氟酸主要用于集成电路工业中芯片清洗与腐蚀,是微电子技术加工过程中不可缺少的关键化学品之一;也用于液晶显示器(TFT-LCD)行业中对玻璃基板、氧化硅、二氧化硅蚀刻;还用于太阳能电池行业硅表面清洗、蚀刻。