项目名称 | 电子级特种气体生产项目 | 产业类别 | 电子信息产业 |
总投资额 | 5亿元 | ||
项目简介 | 电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。 | ||
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